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기술고유번호: 2015-기부채납-1201 |
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| 기술명 |
반도체 제조공정 및 소자기술 |
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| 특허등록번호 |
0632717호 등 특허 5건 |
| 특허출원번호 |
(명세서 :
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| 개발자 |
소속 : 한국생산기술연구원 이름 : 이강원 외 5명 |
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| 본 기술들은 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 세정장비, 마크 영상인식 머신 비전 시스템 및 임프린팅 장치와 반도체 소자 제조의 미세버섯 구조 패턴 형성 기술들로 구성되어 있음 |
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| 기술특징 |
0 반도체 및 LCD 패널 제조공정 중에 기판 표면에 붙어있는 불순물을 효율적으로 처리가 가능함
0 조명 변화, 입력 영상의 회전 변화 및 외부 노이즈에 영향을 적게 받으면서 마크 영상의 중심점의 고속 계산이 가능함
0 고주파 유도열을 이용하여 급속으로 가열하고 균일한 가압력의 구현이 가능하며 보다 신속한 냉각이 가능함
0 자외선 경화 수지가 자외선에 의해 경화되는 원리를 이용하여 상온에서 저압으로 진행되는 미세버섯구조 패턴 형성 방법
0 기화된 유기용제가 프리폼의 표면에 흡수되어지도록 하여 프리폼의 돌기를 가압하는 미세버섯구조 패턴 형성 방법
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| 기대효과 |
0 고품질의 반도체 및 LCD 패널 제조
0 마크영상 중심점 계산의 신뢰성 향상
0 총 공정에 소요되는 사이클 타임 감소
0 패턴의 성형불량 방지 및 작업 용이
0 열팽창의 패턴의 성형불량 문제 해결
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| 적용분야 |
0 반도체 제조 및 공정·장비와 관련된 제품에 적용 가능함
반도체 제조 · 검사공정 및 각종 반도체 소자나 필터
디스플레이 생산공정의 얼라인먼트
LCD 패널 제조공정
LED 및 태양전지의 제조공정
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| 시장현황 |
국내 반도체 시장의 경우 2011년 432억 달러에서 연평균 9.5%씩 증가하여 2016년에는 681억 달러로 전망됨. 국내 반도체 장비 시장은 2011년은 2010년도 대규모 신규투자로 인해 투자가 소폭 감소하여 전년 대비 4.2% 감소한 80억 달러의 규모를 기록하였으며, 2015년까지 연평균 3.3%의 성장률을 기록하며 90억 달러의 규모에 이를 것으로 전망됨
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| 주요내용 |
반도체 관련특허 5건으로 패키징되었음
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| 기술거래유형 |
통상실시 |
| 기술료 |
17,500,000원 |
경상기술료 |
% |
| 실시기간 |
5년 |
| 실시지역 |
국내 |
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